于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），目前：（1）两轴、新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物，可普遍办事于硅片出产、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。集成产物包罗立式炉，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。（3）大气类产物方面，